Устройства для крепления или управления положением объекта или материала и устройства для регулирования диафрагм или линз, конструктивно сопряженных с опорой (H01J37/20)
H01J37/20 Устройства для крепления или управления положением объекта или материала; устройства для регулирования диафрагм или линз, конструктивно сопряженных с опорой (подготовка образцов для исследований G01N1/28)(2)