H01L39/24 Способы и устройства для изготовления или обработки предусмотренных в H01L39 приборов или их частей (не предназначенные специально для этой цели H01L21; магнитное разделение сверхпроводящих материалов от других материалов, например с использованием эффекта мейснера, B03C1)[2](1)