С последующим разделением подложки на несколько отдельных приборов (H01L21/78)

H01 Основные элементы электрического оборудования(4684)

H01L21/78 С последующим разделением подложки на несколько отдельных приборов (резка, изменяющая физические свойства поверхности или форму полупроводниковых элементов, H01L21/304)(1)

Микросхема радиационной защиты // 110543

2548236.