Обработка полупроводниковых подложек с использованием способов, не предусмотренных в H01L21/36-H01L21/428 (H01L21/46)

H01 Основные элементы электрического оборудования(4684)

H01L21/46 Обработка полупроводниковых подложек с использованием способов, не предусмотренных в H01L21/36-H01L21/428 (изготовление электродов на них H01L21/44)(1)

Установка нанесения пассивирующего диэлектрика // 55507

2548697.