Транзисторов (H01L21/331)

H01L21/331              Транзисторов(3)

Метки совмещения на полупроводниковой подложке с обратным контрастом для электронной литографии // 152525
Полезная модель относится к технологии электронно-лучевой литографии, в частности к способу прецизионного совмещения экспонируемых топологических элементов с имеющимся на пластине топологическим рисунком.
 
2548308.
Наверх