С внедрением ионов (H01L21/265)

H01 Основные элементы электрического оборудования(4684)

H01L21/265 С внедрением ионов (трубки с ионным пучком для локальной обработки H01J37/30)(1)

Маска для ионного легирования в пластины карбида кремния // 140712

Полезная модель относится к области электронной техники, а более конкретно - к конструкции масок для планарной технологии изготовления полупроводниковых приборов на основе карбида кремния с использованием процессов ионного легирования.

2548753.