Изготовление или обработка полупроводниковых приборов или их частей (H01L21/02)

H01 Основные элементы электрического оборудования(4684)

H01L21/02 Изготовление или обработка полупроводниковых приборов или их частей (отличающиеся использованием органических материалов H01L51/40)(6)

Фотошаблон для обработки пластин // 153623

Полезная модель относится к области электронной техники, а именно к конструкциям фотошаблонов, применяемым для фотолитографической обработки полупроводниковых пластин.

Метки совмещения на полупроводниковой подложке с обратным контрастом для электронной литографии // 152525

Полезная модель относится к технологии электронно-лучевой литографии, в частности к способу прецизионного совмещения экспонируемых топологических элементов с имеющимся на пластине топологическим рисунком.

Чувствительный элемент сенсора для молекулярного анализа на основе щелевых кремниевых структур // 129296

Устройство для перемещения полупроводниковых пластин и удаления капельной влаги с их поверхности // 124435

Мембрана двухканального тензодатчика давления // 87520

Устройство для получения эпитаксиальных слоев карбида кремния на кремниевой подложке // 86351

Мощный интегральный тиристор с полевым управлением // 58787

2548431.