Управление или регулирование способа нанесения покрытия (C23C22/77)

C Химия; металлургия(4052)

C23 Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом (металлизация текстильных изделий D06M11/83; декоративная обработка текстильных изделий местной металлизацией D06Q1/04); химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще (для специфических целей см. соответствующие классы, например для производства резисторов H01C17/06); способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще (обработка металлических поверхностей или покрытие металлов электролитическим способом или способом электрофореза C25D,C25F) (499)

C23C22/77 Управление или регулирование способа нанесения покрытия (управление и регулирование вообще G05)(1)

Автоматизированная установка для формирования тонкопленочных покрытий наноразмерной толщины методом молекулярного наслаивания // 134534

Полезная модель относится к установкам для формирования тонкопленочных покрытий наноразмерной толщины, формируемых методом молекулярного наслаивания, и может быть использована в полупроводниковой и электронной промышленности.

2548564.