Характеризуемые способом, используемым для поддерживания подложек в реакционной камере (C23C16/458)

C Химия; металлургия(4052)

C23 Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом (металлизация текстильных изделий D06M11/83; декоративная обработка текстильных изделий местной металлизацией D06Q1/04); химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще (для специфических целей см. соответствующие классы, например для производства резисторов H01C17/06); способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще (обработка металлических поверхностей или покрытие металлов электролитическим способом или способом электрофореза C25D,C25F) (499)

C23C16/458 Характеризуемые способом, используемым для поддерживания подложек в реакционной камере(1)

Устройство для осаждения покрытий из парогазовой фазы // 126005

Наверх