Патенты автора Панов Петр Иннокентьевич (RU)

Устройство для конверсии тетрахлорида кремния и напыления поликристалилического кремния // 85155

Устройство для напыления поликристаллического кремния // 79882

Устройство для получения поликристаллического кремния // 115361

Изобретение относится к производству поликристаллического кремния (ПК) и касается устройства для конверсии тетрахлорида кремния в ПК и его вывода из реакционной зоны с целью получения фотогальванических преобразователей энергии.