Патенты автора Мещеряков Вячеслав Викторович (RU)

Полезная модель относится к области сканирующей зондовой микроскопии и нанотвердометрии - технике контроля физико-механических свойств материалов и предназначена для исследования поверхности рельефа, измерения механических свойств объемных материалов и тонких пленок на субмикронном и нанометровом масштабе.
Наверх