Патенты автора Коленцова Ольга Сергеевна (RU)

Метки совмещения на полупроводниковой подложке с обратным контрастом для электронной литографии // 152525

Полезная модель относится к технологии электронно-лучевой литографии, в частности к способу прецизионного совмещения экспонируемых топологических элементов с имеющимся на пластине топологическим рисунком.

Подписаться на новые патенты этого автора

Отправить сообщение автору патента

Я этот человек или организация