Патенты автора Еньшин Степан Игоревич (RU)

Полезная модель относится к области ионно-плазменных технологий обработки поверхности и нанесения тонкопленочных покрытий, в частности, нанесения покрытий с помощью магнетронного распыления. .
Наверх