Патенты автора Тимашев Михаил Юрьевич (RU)

Вакуумный модуль для анализа элементного состава нанослоев, содержащий энергетический анализатор в виде циллиндрического зеркала с фокусировкой "ось-ось", а также ионную пушку, вакуумный фланец с электрическими выводами..
Наверх