Патенты автора Тихонов Петр Алексеевич (RU)
Полезная модель относится к установкам для формирования тонкопленочных покрытий наноразмерной толщины, формируемых методом молекулярного наслаивания, и может быть использована в полупроводниковой и электронной промышленности.
© Патентный поиск, поиск патентов на полезные модели - PoleznayaModel.RU 2012-2024
