Патенты автора Асалханова Мария (RU)

Технический результат регистратор позволяет измерить малые перемещения (от десятых долей нм до мкм) объектов, в том числе характерные размеры которых меньше размера объектного лазерного пучка интерферометра в месте максимальной фокусировки или меньше длины волны излучения.
Наверх