Патенты автора Каргин Николай Иванович (RU)
Метки совмещения на полупроводниковой подложке с обратным контрастом для электронной литографии // 152525
Полезная модель относится к технологии электронно-лучевой литографии, в частности к способу прецизионного совмещения экспонируемых топологических элементов с имеющимся на пластине топологическим рисунком.
Устройство для определения состава газов в рабочей камере при проведении ионно-плазменных процессов // 132256
Полезная модель относится к вспомогательным устройствам к оборудованию для нанесения материалов ионно-плазменными методами в вакууме, и предназначено для контроля состава остаточных газов в вакуумной камере при проведении ионно-плазменных процессов..
© Патентный поиск, поиск патентов на полезные модели - PoleznayaModel.RU 2012-2024
