PoleznayaModel.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Сейсян Рубен Павлович (RU)
Фоторезист для нанолитографии
// 82349
Лазерно-плазменный источник экстремально короткого ультрафиолетового излучения
// 114524
Высокоапертурная проекционная система литографической установки
// 125355
Источник экстремального ультрафиолетового излучения с лазерной плазмой на длине волны 13,4 нм
// 94003
Репродукционный зеркальный объектив для нанолитографии
// 93999
Подписаться на новые патенты этого автора
Отправить сообщение автору патента
Я этот человек или организация