Патенты автора Шилов Игорь Петрович (RU)

Изобретение относится к области волоконной оптики и представляет собой устройство для изготовления оптических волноводов, в том числе кварцевых заготовок волоконных световодов (КЗВС) и планарных оптических волноводов (ПОВ) с повышенной числовой апертурой (NA=0,30, состава SiO2-F/SiO2 , где SiO2-F-светоотражающая оболочка, a SiO2 - сердцевина) методом СВЧ-плазменного осаждения реагентов из газовой фазы при пониженном давлении.

Изобретение относится к области волоконной оптики и, в частности, к формированию заготовок волоконных световодов (ЗВС), осаждением из газовой фазы. .
Наверх