Патенты автора Сегал Ю.Е. (RU)

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к установкам для испытания микрообразцов на прочность и может быть использовано для научных исследований, а также для контроля механических свойств проволоки и лент с микронными поперечными размерами, применяемыми для выполнения внутренних соединений в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Наверх