Патенты автора Йошио Матсумото (JP)

Источник спонтанного вакуумного ультрафиолетового излучения // 42694

Изобретение относится к светотехнике и может быть использовано при создании и применении эффективных источников спонтанного излучения в вакуумной ультрафиолетовой области спектра, в частности, в микроэлектронике при обработке и чистке поверхности посредством ее облучения.

Подписаться на новые патенты этого автора

Отправить сообщение автору патента

Я этот человек или организация