Патенты автора Ломаев М.И. (RU)

Изобретение относится к светотехнике и может быть использовано при создании и применении эффективных источников спонтанного излучения в вакуумной ультрафиолетовой области спектра, в частности, в микроэлектронике при обработке и чистке поверхности посредством ее облучения.
Наверх