Устройство формирования нанообъектов на подложке

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам формирования нанообъектов на подложке. В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность упорядоченного формирования нанообъектов на подложке. Поставленная техническая задача решается тем, что устройство формирования нанообъектов на подложке, содержащее вакуумную камеру, установленный в ней пьезопривод, подложкодержатель с закрепленной на нем подложкой и два электрода, согласно предложенной полезной модели, снабжено дополнительным электродом, выполненным в виде пакета углеродных нанотрубок, установленных в пакете таким образом, что их оси параллельны, пакет жестко связан с торцом пьезопривода, устройство дополнительно снабжено узлом подачи рабочего газа. Введение в устройство формирования нанообъектов на подложке дополнительного электрода, выполненного в виде пакета углеродных нанотрубок, которые установлены в пакете таким образом, что их оси параллельны, а сам пакет жестко связан с торцом пьезопривода, а также узла подачи рабочего газа обеспечивает упорядоченный пролет электронов через углеродные нанотрубки, что и позволяет упорядочить формирование нанообъектов на подложке.

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам формирования нанообъектов на подложке.

Известно технологическое устройство для наноперемещений изделия, содержащее неподвижную направляющую, стол и пьезоэлектрические преобразователи, жестко связанные с неподвижной направляющей. [Патент РФ на ПМ №30041, кл. 7 H02N/00, 10.06.2003 Бюл. №16, (аналог)].

Недостатком аналога является невозможность обеспечения упорядоченного формирования нанообъектов на подложке.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для получения наноструктур на подложке, содержащее пьезопривод, жестко связанный с системой зондов и неподвижной направляющей, и подложку, установленную на координатном столе [Патент РФ на ПМ №41933, кл. 7 H02N 2/00, 10.11.2004 Бюл. №31, (прототип)].

Недостатком прототипа так же является невозможность обеспечения упорядоченного формирования нанообъектов на подложке.

В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность упорядоченного формирования нанообъектов на подложке.

Поставленная техническая задача решается тем, что устройство формирования нанообъектов на подложке, содержащее вакуумную камеру, установленный в ней пьезопривод, подложкодержатель с закрепленной на нем подложкой и два электрода, согласно предложенной полезной модели,

снабжено дополнительным электродом, выполненным в виде пакета углеродных нанотрубок, установленных в пакете таким образом, что их оси параллельны, пакет жестко связан с торцом пьезопривода, устройство дополнительно снабжено узлом подачи рабочего газа.

Введение в устройство формирования нанообъектов на подложке дополнительного электрода, выполненного в виде пакета углеродных нанотрубок, которые установлены в пакете таким образом, что их оси параллельны, а сам пакет жестко связан с торцом пьезопривода, а также узла подачи рабочего газа обеспечивает упорядоченный пролет электронов через углеродные нанотрубки, что и позволяет упорядочить формирование нанообъектов на подложке.

Сущность полезной модели поясняется на фиг.1, где показано устройство формирования нанообъектов на подложке.

Устройство формирования нанообъектов на подложке (фиг.1) содержит вакуумную камеру 1, установленный в ней пьезопривод 2, подложкодержатель 3, с закрепленной на нем подложкой 4. На первом электроде 5 установлена подложка. Между первым 5 и вторым 6 электродами расположен третий 7, выполненный в виде пакета углеродных нанотрубок 9, которые установлены в пакете 8 таким образом, что их оси параллельны, а сам пакет 8 углеродных нанотрубок торцом 10 жестко связан с торцом 11 пьезопривода 2. Устройство снабжено узлом подачи рабочего газа 12.

Устройство формирования нанообъектов на подложке работает следующим образом.

При подаче рабочего напряжения между первым электродом 5 и вторыми электродом 6, возникает ток. Происходит ионизация рабочего газа, подаваемого узлом подачи рабочего газа 12, вследствие соударения с электронами электрода и с последующим осаждением на подложку. Пролет электронов через третий электрод, выполненный в виде пакета углеродных нанотрубок, обеспечивает упорядоченное формирование нанообъектов на

подложке. Путем подачи напряжения на третий электрод 7 возможно усиление или ослабление тока.

Применение предлагаемого устройства формирования нанообъектов на подложке позволяет обеспечить упорядоченное формирование нанообъектов на подложке, вследствие упорядоченного пролета электронов через углеродные нанотрубки и их взаимодействия с рабочим газом.

Устройство формирования нанообъектов на подложке, содержащее вакуумную камеру, установленный в ней пьезопривод, подложкодержатель с закрепленной на нем подложкой и два электрода, отличающееся тем, что устройство снабжено дополнительным электродом, выполненным в виде пакета углеродных нанотрубок, установленных в пакете таким образом, что к их оси параллельны, пакет жестко связан с торцом пьезопривода, устройство дополнительно снабжено узлом подачи рабочего газа.