Устройство получения зондов для нанотехнологии
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам получения зондов для нанотехнологии. Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам получения зондов для нанотехнологии. В основу полезной модели положена задача обеспечить возможность получения зонда с уменьшенным радиусом вершины. Эта задача решается тем, что держатель выполнен в форме шайбы с отверстиями, а затравки установлены в отверстиях шайбы, с возможностью их ориентации относительно поверхности расплава. Применение предлагаемого устройства получения зондов для нанотехнологии позволяет обеспечить возможность получения зонда с уменьшенным радиусом вершины.
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам получения зондов для нанотехнологии.
Известно устройство на основе метода механической обработки изделия [Технология металлов и других конструкционных материалов. Под редакцией доктора технических наук, профессора Н.П.Дубина, издание 2-е, переработанное и дополненное. Учебник для машиностроительных вузов. М. «Высшая школа», 1969 год - 389 с (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность получения зонда с уменьшенным радиусом вершины, что приводит к понижению эффективности удерживания промежутка зонд-подложка.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство получения зондов для нанотехнологии, содержащее тигель с расплавом, узел нагрева и механизм перемещения зондов с держателем [Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового производства:
Учебное пособие для студентов вузов - М., Машиностроение, 1986 г. - 264 с., ил. - 89 с. (прототип)].
Недостатком прототипа также является невозможность получения зонда с уменьшенным радиусом вершины, что приводит к понижению эффективности удерживания промежутка зонд-подложка.
В основу полезной модели положена задача обеспечить возможность получения зонда с уменьшенным радиусом вершины.
Эта задача решается тем, что держатель выполнен в форме шайбы с отверстиями, а затравки установлены в отверстиях шайбы, с возможностью их ориентации относительно поверхности расплава.
Введение в устройство получения зондов для нанотехнологии держателя, выполненного в форме шайбы с отверстиями, в которых
установлены затравки с возможностью их ориентации относительно поверхности расплава, обеспечивает снижение радиуса кривизны поверхности и увеличение геометрических размеров.
Сущность полезной модели поясняется фиг. 1, где показано устройство получения зондов для нанотехнологии.
Устройство получения зондов для нанотехнологии (фиг. 1) содержит тигель 1 с расплавом 2, узел нагрева 3 и механизм перемещение 4 затравки 5 с держателем 6. При этом держатель 6 выполнен в форме шайбы 7 с отверстиями 8, а затравки 5 установлены в отверстиях 8 шайбой 7, с возможностью их ориентации относительно поверхности расплава 9.
Устройство получения зондов для нанотехнологии работает следующим образом:
При работе механизма перемещения 4 затравка 5 поднимается вверх. При равномерной скорости подъема толщина затравки 5 не изменяется. При увеличении скорости подъема затравки 5 происходит ее утонение, с последующим отрывом от поверхности расплава 9.
Применение предлагаемого устройства получения зондов для нанотехнологии позволяет обеспечить возможность получения зонда с уменьшенным радиусом вершины.
Устройство получения зондов для нанотехнологии, содержащее тигель с расплавом, узел нагрева и механизм перемещения затравки с держателем, отличающееся тем, что держатель выполнен в форме шайбы с отверстиями, а затравки установлены в отверстиях шайбы, с возможностью их ориентации относительно поверхности расплава.
