Многозондовое нанотехнологическое устройство перемещений
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещения для нанотехнологического оборудования. В основу полезной модели положена задача повышения производительности нанотехнологического оборудования. Эта задача решается тем, что подложка выполнена из немагнитного материала и закреплена на одном из плюсов постоянного магнита, зонды выполнены из магнитного материала и связаны с пьезоприводом посредством упругого биморфа, выполненного в виде многослойной ленты, свернутой в кольцо, внутри биморфа зонды установлены пакетом изолированно друг от друга, таким образом, что их оси и силовые линии магнитного поля параллельны. Введение в устройство перемещения упругого биморфа, выполненного в виде многослойной ленты свернутой в кольцо, и жестко связанного с пьезоприводом, обеспечивает самоустановку пакета зондов над поверхностью подложки, что и повышает производительность нанотехнологического оборудования.
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к многозондовым нанотехнологическим устройствам перемещения.
Известно многозондовое нанотехнологическое устройство перемещений, содержащее зонды, связанные с пьезоприводом и установленные с возможностью электрического взаимодействия с подложкой [Свидетельство РФ на полезную модель №30033 «Устройство перемещения для нанотехнологии» 10.06.2003 Бюл. №16 (аналог).].
Недостатком аналога является низкая производительность.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является многозондовое нанотехнологическое устройство перемещений, содержащее зонды, связанные с пьезоприводом и установленные с возможностью электрического взаимодействия с подложкой [ Патент РФ на полезную модель №40548 «Устройство перемещения зонда для нанотехнологии» 10.09.2004 Бюл. №25 (прототип).].
Недостатком прототипа так же является низкая производительность.
В основу полезной модели положена задача повышения производительности нанотехнологического оборудования.
Эта задача решается тем, что подложка выполнена из немагнитного материала и закреплена на одном из плюсов постоянного магнита, зонды выполнены из магнитного материала и связаны с пьезоприводом посредством упругого биморфа, выполненного в виде многослойной ленты, свернутой в кольцо, внутри биморфа зонды установлены пакетом изолированно друг от друга, таким образом, что их оси и силовые линии магнитного поля параллельны. Зонды связаны с системой зондового питания, а биморф и пьезопривод с системой управления.
Введение в многозондовое устройство перемещений упругого биморфа, выполненного в виде многослойной ленты свернутой в кольцо, и жестко связанного с пьезоприводом, обеспечивает позиционирование пакета зондов над поверхностью подложки, что и повышает производительность нанотехнологического оборудования.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1 и фиг.2, где показано устройство перемещения.
Многозондовое нанотехнологическое устройство перемещений (фиг.1) содержащее механические зонды 1, связанные с пьезоприводом 2 и установленные с возможностью электрического взаимодействия с подложкой 3. Подложка 3 выполнена из немагнитного материала и закреплена на одном из полюсов 4 постоянного магнита 5. Зонды 1 выполнены из магнитного материала и связаны с пьезоприводом 2 посредством упругого биморфа 6, выполненного в виде многослойной ленты 7, свернутой в кольцо 8. Внутри биморфа 6 зонды 1 установлены пакетом изолированно друг от друга (фиг.2), таким образом, что их оси и силовые линии магнитного поля параллельны. Зонды 1 связаны с системой зондового питания 9, а биморф 6 и пьезопривод 2 с системой управления 10.
Многозондовое нанотехнологическое устройство перемещений работает следующим образом.
При подаче напряжения от системы управления 10 на пьезопривод 2, перемещается биморф 6 и зонды 1 до механического контакта ближайшего из зондов 1 с поверхностью подложки 3. Затем, при подаче напряжения от системы управления 8 на биморф 6, последний разжимается и зонды 1, вступая в механический контакт с поверхностью подложки 3 и взаимодействуя с магнитным полем магнита 5 самоустанавливаются. Для проведения технологического процесса подается напряжение от системы управления 10 на биморф 6, в результате чего зонды 1 фиксируются, а с помощью пьезопривода 2 устанавливается необходимое расстояние до подложки 3.
Таким образом, применение биморфа в многозондовом нанотехнологическом устройстве перемещений позволяет увеличить число зондов, а
самоустановка их в магнитном поле при механическом контакте с подложкой, уменьшает время наладки установки. Применение предлагаемого технического решения многозондового устройства перемещений позволяет повысить производительность нанотехнологческого оборудования в целом.
Многозондовое нанотехнологическое устройство перемещений, содержащее зонды, связанные с пьезоприводом и установленные с возможностью электрического взаимодействия с подложкой, отличающееся тем, что подложка выполнена из немагнитного материала и закреплена на одном из плюсов постоянного магнита, зонды выполнены из магнитного материала и связаны с пьезоприводом посредством упругого биморфа, выполненного в виде многослойной ленты, свернутой в кольцо, внутри биморфа зонды установлены пакетом изолированно друг от друга таким образом, что их оси и силовые линии магнитного поля параллельны.
