Устройство для регистрации химического состава

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для регистрации химического состава. В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность определения химического состава на поверхности материала, в частности поверхности подложки, туннельно-зондовым методом. Эта техническая задача решается тем, что в устройстве для регистрации химического состава поверхности подложки, содержащее вакуумную камеру, внутри которой расположены анод и катод, связанные с источником питания, согласно предложенной полезной модели, анод выполнен в виде. люминесцентного экрана, а катод в виде подложкодержателя на котором установлена подложка, внутри вакуумной камеры под углом к подложке расположен источник электромагнитного излучения, с возможностью подачи квантов этого излучения на поверхность подложки и отражения от нее без взаимодействия с люминесцентным экраном, который расположен параллельно подложке. Применение предложенного устройства для регистрации химического состава позволяет определять химический состав и области легирования материала подложки туннельно-зондовым (неконтактным) методом.

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для регистрации химического состава.

Известно устройство для регистрации химического состава поверхности подложек, включающее вакуумную камеру, внутри которой расположен анод и катод, связанные с источником питания. [Неволин В.К. Физические основы тунельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие // М.: МИЭТ, 2000. - 69с., ил. (аналог)]

Недостатком аналога является невозможность определения химического состава на поверхности материала туннельно-зондовым методом.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для регистрации химического состава поверхности подложек, содержащее вакуумную камеру, внутри которой расположен анод и катод, связанные с источником питания. [Дьячков П.Н. Углеродные нанотрубки - материалы для компьютеров XXI века. // Труды научного семинара «Математическое моделирование нанотехнологических процессов наноструктур». - М.: МИФИ, 2002. - с.42-43. (прогспип)]

Недостатком прототипа также является невозможность определения химического состава на поверхности материала туннельно-зондовым методом.

В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность определения химического состава на поверхности материала, в частности поверхности подложки, туннельно-зондовым методом.

Эта техническая задача решается тем, что в устройстве для регистрации химического состава поверхности подложки, содержащее вакуумную камеру, внутри

которой расположены анод и катод, связанные с источником питания, согласно предложенной полезной модели, анод выполнен в виде люминесцентного экрана, а катод в виде подложкодержателя на котором установлена подложка, внутри вакуумной камеры под углом к подложке расположен источник электромагнитного излучения, с возможностью подачи квантов этого излучения на поверхность подложки и отражения от нее без взаимодействия с люминесцентным экраном, который расположен параллельно подложке.

Введение в устройство для регистрации химического состава поверхности подложек люминесцентного экрана, в качестве анода, расположенного параллельно катоду - подложкодержателю, обеспечивает получение «картины» химического состава и областей легирования, на люминесцентном экране, вследствие взаимодействия этого экрана с выбитыми излучением электронами.

Сущность полезной модели поясняется {фиг.1}, где показано устройство для регистрации химического состава поверхности подложек.

Устройство для регистрации химического состава поверхности подложек [фиг.1} содержит вакуумную камеру 1, внутри которой расположена анод 2 и катод 3. связанные с источником питания 4. Анод 2 выполнен в виде люминесцентного экрана 5, а катод 3 в виде подложкодержателя 6, на котором установлена подложка 7, внутри вакуумной камеры 1 под углом к - подложке 7 расположен источник электромагнитного излучения 8, с возможностью подачи квантов излучения на поверхность подложки 7 и отражения от нее без взаимодействия с люминесцентным экраном 5. который расположен параллельно подложке 7.

Устройство для регистрации химического состава работает следующим образом. При подаче электромагнитного излучения на подложку 7 кванты излучения

начинают выбивать электроны с ее поверхности, которые под действием электрического поля, создаваемого между анодом 2 и катодом 3, начинают «бомбить» люминесцентный экран 5. В результате того, что подложка 7 легирована, электроны, вылетая из разных областей и осаждаясь на люминесцентном экране 5, образовывают на нем «картину», по которой можно определить химический состав и области легирования материала подложки 7.

Применение предложенного устройства для регистрации химического состава позволяет определять химический состав и области легирования материала подложки туннельно-зондовым (неконтактным) методом.

Устройство для регистрации химического состава, содержащее вакуумную камеру, внутри которой расположены анод и катод, связанные с источником питания, отличающееся тем, что анод выполнен в виде люминесцентного экрана, а катод в виде подложкодержателя, на котором установлена подложка, внутри вакуумной камеры под углом к подложке расположен источник электромагнитного излучения, с возможностью подачи квантов этого излучения на поверхность подложки и отражения от нее без взаимодействия с люминесцентным экраном, который расположен параллельно подложке.