Реактор для плазмохимического осаждения веществ из газовой фазы

 

Устройство для нанесения декоративных покрытий способом газофазного плазмохимического осаждения веществ на изделия из стекла, керамики, фарфора и других стеклообразных материалов, содержащее плазмохимический реактор с системой электродов, выполненной в виде составной конструкции с центральным вертикально расположенным электродом и отходящими от него горизонтально оконечными элементами, систему возбуждения высокочастотного разряда и блок питания с возможностью регулирования как полярности его подключения к центральному электроду, так и величины подаваемого напряжения, систему вакуумной откачки, систему подачи газа и систему нагрева изделий, отличающееся тем, что у электродной системы указанные оконечные элементы выполнены в виде несущих плоскостей, жестко закрепленных на центральном электроде.



 

Наверх