Селективный датчик влажности газов

Датчик влажности газов, содержащий полуизолирующую подложку из арсенида галлия с нанесенной на поверхность пленкой монокристаллического эпитаксиального арсенида галлия и металлические контакты, поверхность эпитаксиальной пленки покрыта фторированным оксидным слоем, отличающийся тем, что на свободную сторону подложки нанесен металлопленочный нагреватель.