Устройство перемещения для нанотехнологии

Устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее привод, жестко связанный с неподвижным основанием, и подложку, установленную на подвижном столе, отличающееся тем, что привод выполнен в виде электромагнита и магнитострикционного преобразователя, причем электромагнит установлен таким образом, что направление вектора индукции магнитного поля электромагнита соответствует осевому перемещению зонда и перпендикулярно плоскости подложки.