Устройство перемещения для нанотехнологии

Устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием, и подложку, закрепленную на столе, отличающееся тем, что к пьезоприводу, посредством консоли, прикреплен жгут из оптоволоконных трубок, причем каждая трубка связана с независимым источником электромагнитного излучения, а подложка выполнена с возможностью подачи на нее электрического потенциала, снабжена системой охлаждения, устройство дополнительно снабжено системой подачи рабочего газа в технологический зазор между подложкой и жгутом.