Линза для концентрации излучения в виде потока нейтральных или заряженных частиц со сканированием положения фокусного пятна

1. Линза для концентрации излучения в виде потока нейтральных или заряженных частиц, содержащая множество каналов транспортировки излучения, изогнутых по образующим бочкообразных поверхностей с соблюдением для используемого излучения условия полного внешнего отражения, отличающаяся тем, что она выполнена гибкой, по крайней мере, в части, прилегающей к ее торцу со стороны подлежащего сканированию фокуса, и закреплена остальной частью таким образом, чтобы обеспечить возможность изгиба относительно ее части, прилегающей к торцу со стороны подлежащего сканированию фокуса, а также снабжена средством для управляемого изгиба этой части.

2. Линза по п.1, отличающаяся тем, что ее часть, прилегающая к торцу со стороны подлежащего сканированию фокуса, выполнена с каналами, имеющими прямолинейные оптические оси, являющиеся продолжениями оптических осей каналов остальной части линзы.

3. Линза по п.1 или 2, отличающаяся тем, что средство для управляемого изгиба ее части, прилегающей к торцу со стороны подлежащего сканированию фокуса, выполнено в виде электромагнитной системы, включающей источник управляющих сигналов, для отклонения указанной части от нейтрального положения в двух ортогональных плоскостях.

4. Линза по п.1 или 2, отличающаяся тем, что средство для управляемого изгиба ее части, прилегающей к торцу со стороны подлежащего сканированию фокуса, содержит две взаимно ортогонально ориентированных пары пьезоэлектрических изгибных элементов, размещенных на внешней поверхности части линзы, прилегающей к торцу со стороны подлежащего сканированию фокуса, и подключенный к ним источник управляющих сигналов.

5. Линза по любому из пп.1-4, отличающаяся тем, что она выполнена с возможностью фокусирования расходящегося излучения источника и имеет форму бочки.

6. Линза по п. 5, отличающаяся тем, что она выполнена асимметричной с удлиненной частью, прилегающей к торцу со стороны подлежащего сканированию фокуса.

7. Линза по любому из пп.1-4, отличающаяся тем, что она выполнена с возможностью фокусирования квазипараллельного излучения и имеет форму полубочки.