Устройство бесконтактного контроля нестационарности микрообъектов


7 G01H1/14 -

 

Устройство бесконтактного контроля нестационарности микрообъектов, содержащее последовательно установленные на общей оптической оси импульсный источник когерентного излучения, светооптическую систему, включающую светоделитель пучка электромагнитного излучения, контролируемый образец, а также светоотражающее зеркало, приемники сигналов когерентного излучения, канал считывания обработанных сигналов и дополнительный источник излучения, выполненный в виде лазера непрерывного зондирования, оптическая ось которого через систему светоотражающих зеркал связана с контролируемым образцом и каналом считывания обработанных сигналов, отличающееся тем, что оно снабжено связанным с каналом считывания обработанных сигналов многоканальным анализатором коротких аналоговых импульсов, первый оптический вход которого через первый приемник сигналов когерентного излучения и светооптическую систему связан с импульсным источником когерентного излучения, а второй оптический вход через второй приемник сигналов когерентного излучения и светооптическую систему связан с дополнительным источником излучения, при этом импульсный источник когерентного излучения через дополнительно введенный приемник сигналов когерентного излучения и усилитель пиковых импульсов присоединен к каналу считывания обработанных сигналов.



 

Похожие патенты:
Наверх