Соединения, содержащие кремний, фтор и др. элементы (C01B33/10)

C Химия; металлургия(4052)

C01 Неорганическая химия (обработка порошков неорганических соединений для производства керамики C04B35; бродильные или ферментативные способы синтеза элементов или неорганических соединений, кроме диоксида углерода, C12P3; получение соединений металлов из смесей, например из руд, в качестве промежуточных соединений в металлургическом процессе при получении свободных металлов C21B,C22B; производство неметаллических элементов или неорганических соединений электролитическими способами или электрофорезом C25B) (282)

C01B Неметаллические элементы; их соединения(199)

C01B33 Кремний; его соединения (C01B21,C01B23 имеют преимущество; персиликаты C01B15/14; карбиды C01B31/36) (25)

C01B33/10 Соединения, содержащие кремний, фтор и др. элементы(4)

Система очистки парогазовой смеси продуктов реакции гидрохлорирования кремния // 129838

Устройство для гидрирования тетрахлорида кремния // 125573

Устройство для осуществления технологии получения высокочистого моносилана и тетрахлорида кремния // 107520

Установка для получения моносилана каталитическим диспропорционированием трихлорсилана // 54933

Наверх