Способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки микроструктурных устройств или систем (B81C)

B Различные технологические процессы;транспортирование(24967)

B81C Способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки микроструктурных устройств или систем (изготовление микрокапсул или микросферических газоконтейнеров B01J13/02; способы или устройства для изготовления или обработки пьезоэлектрических, электрострикционных или магнитострикционных элементов как таковые H01L41/22)(3)

B81C1 - Изготовление или обработка устройств или систем, выполненных внутри общей подложки или на ней (B81C3 имеет преимущество)(1)

B81C5 - Способы или устройства, не отнесенные к группе B81C1 или B81C3(2)

Устройство для формирования упорядоченных микроструктур дислокаций в приповерхностном слое полупроводников // 111533

Устройство контроля процесса ионно-лучевого травления многослойных гетероструктур с использованием ионно-электронной эмиссии // 84366

Электропроводящая пленка // 35797

2549092.