Полезная модель относится к распылительному вакуумному оборудованию и может быть использована в качестве базового распылительного оборудования в составе системы вакуумного распыления в магнетронах и установках для катодного осаждения.
Полезная модель относится к распылительному вакуумному оборудованию и может быть использована в качестве высокотехнологичного в изготовлении и монтаже катода-мишени в магнетронах и установках для катодного осаждения.