Патенты автора Севастьянов Юрий Николаевич (RU)

Полезная модель относится к области электронной техники, а более конкретно - к конструкции масок для планарной технологии изготовления полупроводниковых приборов на основе карбида кремния с использованием процессов ионного легирования.

 


Наверх